紫外光刻机

品牌、型号：ABM/8/500/NUV/DCCD/BSV/SA 

放置地点：工学园1-B110 

联系方式：王老师 wangm376@mail.sysu.edu.cn  

主要配置：500W 近紫外光源及控制器、显微镜及对准系统2/4/6/8英寸卡盘，3x3/5x5/7x7/9x9英寸掩膜板夹具灯等。

主要技术指标：光刻分辨率～1 μm，正面套刻精度～0.5 μm，背面套刻精度～1.0 μm。

主要应用范围：用于微纳结构器件加工，适配硅基、光学、柔性等多类基底，支撑微电子、光电子、新型功能材料、生物微流控等多学科研究。

设备预约链接： https://sharing.sysu.edu.cn/home/#/orderDetail?id=3410

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