多腔室超高真空磁控溅射镀膜机

品牌、型号： SYSKEY ASB-STLS166  

放置地点：工学园1-B110  

联系方式：王老师 wangm376@mail.sysu.edu.cn  

主要配置：配置有六边形中央传输腔、氧化物溅射镀膜腔、金属溅射镀膜腔、氮化物/氧化物溅射镀膜腔、蒸镀工艺腔、进样/出样腔体等。

主要技术指标：样品互联传输腔室可实现机械手臂在各腔室之间的全自动样品传输；1个热蒸发沉积腔室的薄膜沉积均匀性均优于±3%（6 英寸样品范围，200 nm 涂层），166x166 mm 方形硅片均匀性优于±5%（200 nm 涂层）；3个磁控溅射沉积腔室的薄膜沉积均匀性均优于±3%（8 英寸样品范围），166x166 mm 方形硅片均匀性优于±3%（200 nm 涂层）；6个腔室可独立抽真空，工作真空度均优于 5x10^-7 Torr，极限真空至少可达到 1x10^-7 Torr。

主要应用范围：用于金属、氧化物、氮化物等薄膜制备加工，多台溅射镀膜设备真空互联，实现批次样品真空传递。

设备预约链接： https://sharing.sysu.edu.cn/home/#/orderDetail?id=9239

设备预约二维码：