椭圆偏光仪

品牌、型号： 颐光科技 ME-L-L穆勒矩阵光谱椭偏仪  

放置地点：工学园1-B110  

联系方式：王老师 wangm376@mail.sysu.edu.cn  

主要配置：椭圆偏振仪主机1台，测控电脑1台，真空气泵1台，标片1套。  

主要技术指标：光谱范围：210~1000 nm；波长间隔：优于0.8 nm；入射角度：45~90°，自动；膜厚重复性：≤0.005 nm，100 nm SiO2/Si标片20次标准偏差；测量时间：＜10 s；自动找焦： 0~20 mm；样件台：X/Y/Z/θ，俯仰调节，满足200 mm样件真空负压吸附固定测量。  

主要应用范围：快速、无损测量薄膜膜厚以及光学常数等参数，应用于半导体、显示面板、光通信、新能源、光学镀膜、应用材料及科学研究等领域。  

设备预约链接： https://sharing.sysu.edu.cn/home/#/orderDetail?id=6240 

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